二氧化硅在电子材料上的应用
二氧化硅在电子材料中核心应用是作为绝缘材料和结构支撑材料,是半导体制造及电子元件封装的关
键基础材料。
其具体应用场景主要包括以下几类:
• 半导体芯片制造:作为芯片层间的介电材料(ILD),实现不同金属导线层之间的电气隔离,同时也
是浅沟槽隔离(STI)技术的核心材料,用于隔离相邻的晶体管。
• 电子封装材料:在集成电路(IC)封装中,作为封装填料添加到环氧树脂等基体中,可降低封装体的
热膨胀系数、提高导热性和机械强度,保护芯片免受外部环境影响。
• 电子元件绝缘:用于制作电容器的绝缘介质、电子管的玻璃外壳以及各类电子器件的绝缘涂层,利用
其优异的绝缘性能防止漏电。
• 光学电子领域:高纯度二氧化硅可制成光学玻璃或光纤,用于光通信、激光器件等光电子设备,传递
光信号并减少信号损耗。
• 研磨抛光材料:在芯片制造的“化学机械抛光(CMP)”工艺中,超细二氧化硅颗粒(胶体硅)作为
抛光液的核心成分,用于精确去除芯片表面多余材料,实现晶圆的超平整化。